多晶硅還原爐生產(chǎn)中發(fā)生倒棒現象是多晶硅生產(chǎn)企業(yè)所不愿看見(jiàn)的,特別是大型還原爐(18對棒/24對棒),還原爐的倒棒將會(huì )造成一系列的危害。
還原爐發(fā)生倒棒現象將會(huì )導致沒(méi)有完成一個(gè)完整的生產(chǎn)周期時(shí)間,硅棒沒(méi)有長(cháng)至預期的規格而被迫強制進(jìn)行停爐過(guò)程操作,繼而重新安裝硅芯進(jìn)行下一爐的生產(chǎn),在此過(guò)程中將造成企業(yè)的實(shí)際產(chǎn)量降低,設備受損及增加操作工人的勞動(dòng)強度等。
若還原爐倒棒發(fā)生在硅棒沉積的開(kāi)始階段,因為在硅棒增長(cháng)前期,硅棒的沉積生長(cháng)較為緩慢,而后期硅棒增長(cháng)較快,此時(shí)倒棒使得必須按照停車(chē)步驟使得整個(gè)還原爐系統停車(chē)后,待爐內達到開(kāi)爐條件狀況下操作工人進(jìn)行拆爐,拆卸并重新安裝硅芯,進(jìn)行下一個(gè)生產(chǎn)周期的操作。這將導致生產(chǎn)過(guò)程中降低有效的生產(chǎn)時(shí)間,使得企業(yè)的實(shí)際產(chǎn)量降低,造成現場(chǎng)操作工人繁重的勞動(dòng)和很大的經(jīng)濟損失。?
若倒棒發(fā)生在后期即將停爐階段,爐內的倒棒可能導致較為嚴重的后果,此時(shí)硅棒直徑較大,在爐內的倒塌使得熾熱的硅棒在側倒過(guò)程中砸向鐘罩爐子內壁,使得爐子的內壁遭到嚴重破壞,同時(shí)還可能使得爐子的電極受到外力的破壞,更換電極工作量非常大,需要耗費大量的人力物力,而且會(huì )耽誤大量的工作時(shí)間,進(jìn)而導致巨大的經(jīng)濟損失,甚至有可能造成意外的事故及人身傷害。?
因此非常有必要對實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中還原爐生產(chǎn)過(guò)程中發(fā)生的倒棒現象進(jìn)行總結分析,從而降低甚至避免這一現象的發(fā)生,減少勞動(dòng)強度,提高生產(chǎn)效率,增加經(jīng)濟效益。