多晶硅還原爐的倒棒現象進(jìn)行總結分析,造成還原爐倒棒的主要原因有如下幾個(gè)方面。

    一、還原爐系統設備自身問(wèn)題：在多晶硅棒生長(cháng)過(guò)程中,從還原爐自身看,對硅棒的傾倒起到一定作用的主要包括進(jìn)料氣體分布裝置和硅芯質(zhì)量以及還原爐系統的測控裝置,此外,爐內使用的硅芯的質(zhì)量也很重要。

    1.還原爐進(jìn)料氣體分布裝置：爐內氣體分布不均是導致還原爐倒棒的大隱患。造成還原爐內氣體分布不均的一個(gè)主要原因是還原爐的進(jìn)、出氣分布裝置所固有的設計缺陷。

    2. 硅芯長(cháng)度及質(zhì)量：硅芯的問(wèn)題在很大程度上也可能導致還原爐的倒棒現象發(fā)生。爐內安裝的硅芯越長(cháng),硅芯的重心越高,在生產(chǎn)過(guò)程中倒棒率越高。

    3.在還原爐正常生產(chǎn)過(guò)程中,若硅芯溫度過(guò)高,則會(huì )使硅芯迅速熔斷,進(jìn)而發(fā)生傾斜,直至倒棒。還原爐系統測控裝置還原爐測裝置主要是指還原爐系統的溫度、壓力及流量的測量和控制,其中最主要的是還原爐的溫度測量控制系統。再者還原爐的壓力和進(jìn)料控制系統若不靈敏,則會(huì )使還原爐內壓力波動(dòng)頻繁,也可能導致還原爐硅芯左右頻繁晃動(dòng),波動(dòng)劇烈時(shí)即可能導致硅棒的傾斜和倒棒。

    二、 硅棒安裝過(guò)程中存在的問(wèn)題：

    硅棒的安裝是否橫平豎直也是導致硅棒發(fā)生倒棒的一個(gè)重要原因,如果有較小的偏移就可能在加壓的過(guò)程中產(chǎn)生較大的偏移,隨著(zhù)硅棒的增長(cháng)而傾斜甚至直接倒棒。導致硅芯安裝不橫平豎直也有以下幾個(gè)方面的原因。在硅芯的安裝過(guò)程中,也會(huì )在后續生產(chǎn)過(guò)程中導致硅芯的熔斷和倒棒的發(fā)生。

    三、硅棒生長(cháng)控制操作中的問(wèn)題：

    1. 溫度的控制：溫度對于多晶硅沉積質(zhì)量的影響是至關(guān)重要的,必須控制得當。

    2.爐內壓力波動(dòng)控制：還原爐內壓力波動(dòng)是指進(jìn)、出料的壓力波動(dòng)。由于還原爐的操作本身屬于非穩態(tài)操作過(guò)程,其進(jìn)、出料均隨著(zhù)硅芯棒的增長(cháng)而單調增加,因此還原爐的進(jìn)料波動(dòng)在所難免,但必須得當。